Nitrate D'hafnium

concept

composé chimique

Le nitrate d'hafnium est un composé chimique de formule Hf(NO3)4. C'est un sel d'hafnium et d'acide nitrique HNO3. Il s'agit d'un solide légèrement volatil pouvant être sublimé à 110 °C sous 0,1 mmHg, ce qui permet de l'utiliser pour déposer des couches minces de dioxyde d'hafnium HfO2 par atomic layer deposition car il se décompose au-delà de 160 °C en HfO(NO3)2 puis en HfO2. Il peut être obtenu par réaction de tétrachlorure d'hafnium HfCl4 avec du pentoxyde d'azote N2O5.

Propriétés

formule
HfN₄O₁₂

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