Analyseur de Gaz Résiduels
outil
Un analyseur de gaz résiduels (RGA, sigle de lʼanglais residual gas analyser) est une sorte de spectromètre de masse, généralement petit et robuste, destiné typiquement au contrôle des processus et à la surveillance de la contamination dans les systèmes sous vide.
Liens externes
Lien Wikipedia : https://fr.wikipedia.org/wiki/Analyseur_de_gaz_résiduels
Lien Wikidata : https://www.wikidata.org/wiki/Q7315510